微分掃描光學(xué)顯微鏡的發(fā)展近來受到非常廣泛關(guān)注，它是基于比較樣品上鄰近兩點(diǎn)信息不同這一原則來探測(cè)樣品的.原來的掃描顯微鏡（SOM）在探測(cè)樣品時(shí)，即使樣品結(jié)構(gòu)沒有變化，也可能產(chǎn)生假信號(hào)，有時(shí)又可能丟失信息，這種系統(tǒng)的潛在能力沒有*發(fā)揮出來.而微分掃描顯微鏡，只有當(dāng)樣品上相鄰兩點(diǎn)在結(jié)構(gòu)上有所變化時(shí)才會(huì)有信號(hào)，這樣結(jié)構(gòu)上微小的變化能被探測(cè)，大大改進(jìn)了成像效果并提高了分辨率.對(duì)樣品相鄰兩點(diǎn)上信息的比較，可采取不同方法.其中主要是從探測(cè)光束上取出相位的信息進(jìn)行比較而給樣品成像，也有些是從探測(cè)光束上取出振幅信息進(jìn)行比較.

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奧林巴斯顯微鏡

    外差光學(xué)顯微鏡用光電的共態(tài)抑制技術(shù)（而不是用振動(dòng)誘發(fā)光的位相顫動(dòng)）進(jìn)行光的外差精密位相側(cè)量，它能分辨出的相位變化.它是用兩同心光束聚焦在樣品上，測(cè)出反射光束之間的相對(duì)位相差.這個(gè)無觸點(diǎn)的光學(xué)顯微鏡即能探測(cè)平滑高反射的表面，也可以探測(cè)粗糙的表面.

    光導(dǎo)纖維掃描微分干涉比較光學(xué)顯微鏡[16:不需要光學(xué)裝置，只需簡單的探測(cè)系統(tǒng).它借助于光導(dǎo)纖維，省去光路設(shè)計(jì)，而且系統(tǒng)很容易轉(zhuǎn)換成全光維表面聲波傳感器.

    相敏掃描顯微鏡可直接檢測(cè)樣品反射光的幅度和位相，因而能獲得復(fù)空I.7變量的傅里葉變換，能消除光學(xué)系統(tǒng)引起的像差的影響，它的深度分辨率優(yōu)于lOnm，對(duì)機(jī)械振動(dòng)不敏感.

    微分振幅光學(xué)顯微鏡（DASOM）[1e）的工作原理是基于:在很小范圍內(nèi)正弦地移動(dòng)光束焦點(diǎn)來探測(cè)樣品.在張華西的實(shí)驗(yàn)中，He-Ne激光光束首先通過一個(gè)駐波聲光偏轉(zhuǎn)器，驅(qū)動(dòng)頻率是1.7MHz，而產(chǎn)生照射光斑在物體表面很小范圍內(nèi)正弦移動(dòng).這樣，樣品表面任伺結(jié)構(gòu)變化如外形或反射率變化都會(huì)使反射光束產(chǎn)生一交流信號(hào)，從這個(gè)信號(hào)的強(qiáng)度上可以檢測(cè)出樣品表面及亞表面機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì).經(jīng)計(jì)算DASOM系統(tǒng)的信噪比比普通光學(xué)顯微鏡的信噪比高得多.