三維超景深顯微系統(tǒng)支持多種觀測模式，包括透射光、反射光及偏振光模式，可適應(yīng)不同類型的樣本(如透明切片、不透明固體或液體中的懸浮物)。其次，其大景深特性使得一次性拍攝即可涵蓋樣本的多層結(jié)構(gòu)，避免了傳統(tǒng)顯微鏡因調(diào)焦反復(fù)掃描導(dǎo)致的效率損失。通過測量立體圖像中的幾何參數(shù)(如高度、體積、表面粗糙度)，用戶可準(zhǔn)確評估樣本的物理特性。這種能力在微納加工、半導(dǎo)體檢測等場景中尤為重要，例如分析芯片表面劃痕的深度或納米結(jié)構(gòu)的形態(tài)偏差。
 

　　三維超景深顯微系統(tǒng)的檢定方法：
 

　　1.外觀與機械結(jié)構(gòu)檢查
 

　　-整體外觀：查看顯微鏡的外殼是否有損壞、變形、掉漆等情況，鏡頭是否清潔、無劃痕、無霉斑。檢查各部件之間的連接是否穩(wěn)固，如鏡筒、載物臺、照明裝置等的連接螺絲是否松動。
 

　　-機械部件：檢查載物臺的移動是否平穩(wěn)、順暢，在X、Y、Z軸方向上的移動精度是否符合要求，可通過放置標(biāo)準(zhǔn)尺或使用千分尺等工具進行測量。檢查調(diào)焦旋鈕、變倍旋鈕等操作部件是否靈活，有無卡頓或異常阻力。
 

　　2.光學(xué)系統(tǒng)檢定
 

　　-成像質(zhì)量：使用標(biāo)準(zhǔn)的分辨率測試板或標(biāo)本，觀察顯微系統(tǒng)所成的圖像是否清晰、銳利，有無模糊、重影、色差等問題。對于不同倍數(shù)的物鏡和不同的景深設(shè)置，都要進行成像質(zhì)量的檢查。
 

　　-照明系統(tǒng)：檢查照明光源是否均勻、穩(wěn)定，亮度是否可調(diào)節(jié)且調(diào)節(jié)范圍符合要求?？梢酝ㄟ^觀察視場中的光照均勻性，以及在不同亮度下圖像的質(zhì)量變化來進行判斷。同時，檢查照明系統(tǒng)的散熱情況，確保長時間使用不會因過熱而影響性能。

 

　　3.測量功能檢定
 

　　-長度測量：使用已知長度的標(biāo)準(zhǔn)量塊或標(biāo)尺，將其放置在載物臺上，通過顯微系統(tǒng)的測量功能對標(biāo)準(zhǔn)長度進行多次測量，記錄測量值并與標(biāo)準(zhǔn)值進行比較，計算測量誤差。測量時要注意測量方向的一致性以及測量點的選取。
 

　　-深度測量：對于具有深度測量功能的三維超景深顯微系統(tǒng)，需要使用標(biāo)準(zhǔn)深度塊或臺階規(guī)等工具進行深度測量的檢定。將標(biāo)準(zhǔn)深度塊放置在載物臺上，調(diào)整顯微系統(tǒng)的焦距和位置，使其能夠清晰地觀察到深度塊的不同臺階面，然后使用系統(tǒng)的深度測量功能對臺階高度進行測量，同樣進行多次測量并計算誤差。
 

　　4.重復(fù)性與再現(xiàn)性檢定
 

　　-重復(fù)性：在同一測量條件下，對同一被測物體的同一尺寸進行多次連續(xù)測量，記錄每次測量的結(jié)果，計算測量結(jié)果的平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差，以評估顯微系統(tǒng)的重復(fù)性精度。
 

　　-再現(xiàn)性：由不同的操作人員在不同的時間，使用相同的測量條件對同一被測物體進行測量，比較不同人員和不同時間下的測量結(jié)果，以檢驗顯微系統(tǒng)的再現(xiàn)性精度。